Formation of aluminium nitride by plasma immersion ion implantation
| Author: | Darina Ilcheva Manova |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/55053 |
| ISBN: | 3-89820-270-4OPAC |
| Publisher: | Mensch-&-Buch-Verl. |
| Place of publication: | Berlin |
| Advisor: | Bernd Rauschenbach |
| Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Year of Creation: | 2001 |
| Year of first Publication: | 2001 |
| Date of final exam: | 2001/07/06 |
| Release Date: | 2019/05/29 |
| GND-Keyword: | Aluminiumnitrid; Plasma-Immersions-Implantation |
| Pagenumber: | 109 S. |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
