Microstructure analysis of novel ternary NiSi2−xAlx silicide layers on Si(001) formed by solid-state reaction
Author: | A. Mogilatenko, G. Beddies, M. Falke, I. Häusler, W. Neumann |
---|---|
Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/65594 |
ISSN: | 0021-8979OPAC |
ISSN: | 1089-7550OPAC |
Parent Title (English): | Journal of Applied Physics |
Publisher: | AIP Publishing |
Place of publication: | Melville, NY |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2012 |
Release Date: | 2019/12/10 |
Tag: | General Physics and Astronomy |
Volume: | 111 |
Issue: | 10 |
First Page: | 103512 |
DOI: | https://doi.org/10.1063/1.4718008 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |