Microstructure analysis of novel ternary NiSi2−xAlx silicide layers on Si(001) formed by solid-state reaction

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Metadaten
Author:A. Mogilatenko, G. Beddies, M. Falke, I. Häusler, W. Neumann
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/65594
ISSN:0021-8979OPAC
ISSN:1089-7550OPAC
Parent Title (English):Journal of Applied Physics
Publisher:AIP Publishing
Place of publication:Melville, NY
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2012
Release Date:2019/12/10
Tag:General Physics and Astronomy
Volume:111
Issue:10
First Page:103512
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4718008
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV