A thermodynamic approach to selecting alternative gate dielectrics
Author: | Darrell G. Schlom, Jeffrey H. Haeni |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/62006 |
ISSN: | 0883-7694OPAC |
ISSN: | 1938-1425OPAC |
Parent Title (English): | MRS Bulletin |
Publisher: | Cambridge University Press (CUP) |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2002 |
Release Date: | 2020/03/05 |
Tag: | Physical and Theoretical Chemistry; General Materials Science; Condensed Matter Physics |
Volume: | 27 |
Issue: | 3 |
First Page: | 198 |
Last Page: | 204 |
DOI: | https://doi.org/10.1557/mrs2002.71 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik VI |