Ammonia plasma immersion ion implantation into silicon: composition and structure of the resulting silicon–nitrogen–hydrogen system
| Author: | Kerstin VolzGND, Bernd RauschenbachORCiD, C. Klatt, W. Ensinger |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/114344 |
| ISSN: | 0168-583XOPAC |
| Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2000 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2024/07/25 |
| Volume: | 166-167 |
| First Page: | 75 |
| Last Page: | 81 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/s0168-583x(99)00866-6 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
