Incorporation of nitrogen into carbon films produced by PECVD under bias voltage

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Metadaten
Author:J. Hartmann, Matthias SchreckORCiDGND, T. Baur, H. Huber, W. Assmann, H. Schuler, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/25935
ISSN:0925-9635OPAC
Parent Title (English):Diamond and Related Materials
Publisher:Elsevier
Place of publication:Amsterdam [u.a.]
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:1998
Release Date:2017/07/21
Volume:7
Issue:6
First Page:899
Last Page:902
DOI:https://doi.org/10.1016/S0925-9635(97)00328-2
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV