Spectroscopic diagnostics and modelling of silane-microwave plasmas
| Author: | Ursel FantzORCiDGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26180 |
| Parent Title (English): | Plasma Physics and Controlled Fusion |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 40 |
| Issue: | 6 |
| First Page: | 1035 |
| Last Page: | 1056 |
| DOI: | https://doi.org/10.1088/0741-3335/40/6/011 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |
