Loss of epitaxial orientation during microwave plasma chemical vapor deposition of diamond under negative biasing conditions
Author: | Karl-Heinz ThürerGND, Matthias SchreckORCiDGND, Bernd StritzkerGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26259 |
ISBN: | 1566771854OPAC |
Parent Title (English): | Diamond Materials V: Proceedings of the Fifth International Symposium on Diamond Materials |
Publisher: | Electrochemical Society |
Place of publication: | Pennington |
Editor: | J. L. Davidson, W. D. Brown, A. Gicquel, B. V. Spitsyn, J. C. Angus |
Type: | Part of a Book |
Language: | English |
Year of first Publication: | 1998 |
Release Date: | 2017/07/21 |
First Page: | 142 |
Last Page: | 151 |
Series: | Proceedings / Electrochemical Society ; 1997,32 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |