Loss of epitaxial orientation during microwave plasma chemical vapor deposition of diamond under negative biasing conditions
| Author: | Karl-Heinz ThürerGND, Matthias SchreckORCiDGND, Bernd StritzkerGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26259 |
| ISBN: | 1566771854OPAC |
| Parent Title (English): | Diamond Materials V: Proceedings of the Fifth International Symposium on Diamond Materials |
| Publisher: | Electrochemical Society |
| Place of publication: | Pennington |
| Editor: | J. L. Davidson, W. D. Brown, A. Gicquel, B. V. Spitsyn, J. C. Angus |
| Type: | Part of a Book |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| First Page: | 142 |
| Last Page: | 151 |
| Series: | Proceedings / Electrochemical Society ; 1997,32 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
