Modification of diamond film growth by a negative bias voltage in microwave plasma chemical vapor deposition
| Author: | Matthias SchreckORCiDGND, Thomas BauerORCiDGND, R. Fehling, M. Müller, Bernd StritzkerGND, A. Bergmaier, G. Dollinger |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26270 |
| Parent Title (English): | Diamond and Related Materials |
| Publisher: | Elsevier |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 7 |
| Issue: | 2-5 |
| First Page: | 293 |
| Last Page: | 298 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0925-9635(97)00260-4 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
