Modification of diamond film growth by a negative bias voltage in microwave plasma chemical vapor deposition
Author: | Matthias SchreckORCiDGND, Thomas BauerORCiDGND, R. Fehling, M. Müller, Bernd StritzkerGND, A. Bergmaier, G. Dollinger |
---|---|
Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26270 |
Parent Title (English): | Diamond and Related Materials |
Publisher: | Elsevier |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 1998 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 7 |
Issue: | 2-5 |
First Page: | 293 |
Last Page: | 298 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/S0925-9635(97)00260-4 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |