Ein Wachstumsmodell für die Karbonisierung von Siliziumsubstraten unter SSMBE-Bedingungen
| Author: | Wilfried AttenbergerGND, Jörg K. N. Lindner, Bernd StritzkerGND, V. Cimalla, Th. Stauden, G. Ecke, G. Eichhorn, J. Pezoldt |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26274 |
| Parent Title (German): | Internationales wissenschaftliches Kolloquium der Technischen Universität Ilmenau |
| Publisher: | Technische Universität Ilmenau |
| Type: | Article |
| Language: | German |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 43 |
| Issue: | 2 |
| First Page: | 476 |
| Last Page: | 483 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
