Modeling of hydrocarbon species in ECR methane plasmas
| Author: | K. Matyash, R. Schneider, A. Bergmann, W. Jacob, Ursel FantzORCiDGND, P. Pecher |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/30300 |
| Parent Title (English): | Journal of Nuclear Materials |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2003 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 313–316 |
| First Page: | 434 |
| Last Page: | 438 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0022-3115(02)01410-1 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |
