Modeling of hydrocarbon species in ECR methane plasmas
Author: | K. Matyash, R. Schneider, A. Bergmann, W. Jacob, Ursel FantzORCiDGND, P. Pecher |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/30300 |
Parent Title (English): | Journal of Nuclear Materials |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2003 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 313–316 |
First Page: | 434 |
Last Page: | 438 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/S0022-3115(02)01410-1 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |