Diagnostics of electron distribution functions in planar ICP sources
| Author: | Ursel FantzORCiDGND, Patrick StarkeGND, T. Ondak |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/30315 |
| ISBN: | 4990091531OPAC |
| Parent Title (English): | Proceedings : 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases ; Nagoya, Japan ; 17 - 22 July 2001 |
| Editor: | Toshio Goto |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2001 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 4 |
| First Page: | 201 |
| Last Page: | 202 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |
