High growth rate homoepitaxial diamond deposition on off-axis substrates
Author: | Thomas BauerORCiDGND, Matthias SchreckORCiDGND, Hadwig Sternschulte, Bernd StritzkerGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31768 |
Parent Title (English): | Diamond and Related Materials |
Publisher: | Elsevier |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2005 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 14 |
Issue: | 3-7 |
First Page: | 266 |
Last Page: | 271 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/j.diamond.2004.10.043 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |