In situ characterisation of CVD-diamond growth under H2S addition by optical emission spectroscopy, mass spectrometry and laser reflection interferometry

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Metadaten
Author:Hadwig Sternschulte, Matthias SchreckORCiDGND, Bernd StritzkerGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31930
Parent Title (English):Diamond and Related Materials
Publisher:Elsevier
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2002
Release Date:2017/07/21
Volume:11
Issue:3-6
First Page:296
Last Page:300
DOI:https://doi.org/10.1016/S0925-9635(01)00675-6
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV