Damage buildup and removal in Ca-ion-implanted GaN
| Author: | Chang Liu, Matthias SchreckORCiDGND, Axel WenzelGND, B. Mensching, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31966 |
| Parent Title (English): | Applied Physics A |
| Publisher: | Springer |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2000 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 70 |
| Issue: | 1 |
| First Page: | 53 |
| Last Page: | 57 |
| DOI: | https://doi.org/10.1007/s003390050010 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
