Distribution of ion implanted dopants in Gallium Nitride
| Author: | Axel WenzelGND, Helmut KarlORCiDGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31984 |
| ISBN: | 0-7803-6462-7OPAC |
| Parent Title (English): | Ion implantation technology 2000: 2000 International Conference on Ion Implantation Technology; proceedings, Alpbach, Austria, 17-22 September 2000 |
| Publisher: | IEEE |
| Place of publication: | Piscataway, NJ |
| Editor: | Heiner Ryssel, Lothar Frey, Jozsef Gyulai, Hans Glawsichnig |
| Type: | Part of a Book |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2000 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| First Page: | 99 |
| Last Page: | 102 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
