Distribution of ion implanted dopants in Gallium Nitride

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Metadaten
Author:Axel WenzelGND, Helmut KarlGND, Bernd RauschenbachORCiD
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31984
ISBN:0-7803-6462-7OPAC
Parent Title (English):Ion implantation technology 2000: 2000 International Conference on Ion Implantation Technology; proceedings, Alpbach, Austria, 17-22 September 2000
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Editor:Heiner Ryssel, Lothar Frey, Jozsef Gyulai, Hans Glawsichnig
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:2000
Release Date:2017/07/21
First Page:99
Last Page:102
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV