Temporal evolution of ion implanted CdSe distribution in SiO2 on Silicon during annealing
Author: | Ingo GroßhansGND, Helmut KarlORCiDGND, Bernd StritzkerGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/35255 |
Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2004 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 219-220 |
First Page: | 820 |
Last Page: | 824 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/j.nimb.2004.01.170 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |