Temporal evolution of ion implanted CdSe distribution in SiO2 on Silicon during annealing

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Metadaten
Author:Ingo GroßhansGND, Helmut KarlGND, Bernd StritzkerGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/35255
Parent Title (English):Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2004
Release Date:2017/07/21
Volume:219-220
First Page:820
Last Page:824
DOI:https://doi.org/10.1016/j.nimb.2004.01.170
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV