Temporal evolution of ion implanted CdSe distribution in SiO2 on Silicon during annealing
| Author: | Ingo GroßhansGND, Helmut KarlORCiDGND, Bernd StritzkerGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/35255 |
| Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2004 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 219-220 |
| First Page: | 820 |
| Last Page: | 824 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.nimb.2004.01.170 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
