Metadaten| Author: | Dieter Weller, Gregory Parker, Oleksandr Mosendz, Andreas Lyberatos, Dmitriy Mitin, Nataliia Y. Safonova, Manfred AlbrechtORCiDGND |
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| URN: | urn:nbn:de:bvb:384-opus4-384628 |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/38462 |
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| ISSN: | 2166-2746OPAC |
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| Parent Title (English): | Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena |
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| Publisher: | Society through the American Institute of Physics |
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| Place of publication: | New York, NY |
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| Type: | Article |
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| Language: | English |
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| Date of Publication (online): | 2018/06/26 |
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| Year of first Publication: | 2016 |
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| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
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| Release Date: | 2018/06/27 |
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| Volume: | 34 |
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| Issue: | 6 |
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| First Page: | 060801-1 |
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| Last Page: | 060801-10 |
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| DOI: | https://doi.org/10.1116/1.4965980 |
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| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
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| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik |
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| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
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| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
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| Licence (German): |  CC-BY 4.0: Creative Commons: Namensnennung |
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