High quality single atomic layer deposition of hexagonal boron nitride on single crystalline Rh(111) four-inch wafers

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Metadaten
Author:A. Hemmi, C. Bernard, H. Cun, S. Roth, M. Klöckner, T. Kälin, M. Weinl, Stefan GsellGND, Matthias SchreckORCiDGND, J. Osterwalder, T. Greber
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/38774
ISSN:1089-7623OPAC
Parent Title (English):Review of Scientific Instruments
Publisher:American Institute of Physics
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2014
Release Date:2018/07/24
Volume:85
Issue:3
First Page:035101
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4866648
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV