Framework for integration of virtual metrology and predictive maintenance

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Metadaten
Author:G. Roeder, A. Mattes, M. Pfeffer, M. Schellenberger, L. Pfitzner, Alexander KnappORCiDGND, H. Muhlberger, A. Kyek, B. Lenz, M. Frisch, J. Bichlmeier, G. Leditzky, E. Lind, S. Zoia, G. Fazio
URN:urn:nbn:de:bvb:384-opus4-444435
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/44443
ISBN:9781467303514OPAC
ISBN:9781467303507OPAC
Parent Title (English):2012 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 15-17 May 2012, Saratoga Springs, NY, USA
Publisher:IEEE
Place of publication:Los Alamitos, CA
Editor:Jennifer Braggin, Larry Pulvirent, Scott Lantz, Holly Magoon
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:2012
Publishing Institution:Universität Augsburg
Release Date:2018/12/12
First Page:288
Last Page:293
DOI:https://doi.org/10.1109/asmc.2012.6212913
Institutes:Fakultät für Angewandte Informatik
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Software & Systems Engineering
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Softwaretechnik
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Softwaretechnik / Professur für die Grundlagen des Software & Systems Engineering
Dewey Decimal Classification:0 Informatik, Informationswissenschaft, allgemeine Werke / 00 Informatik, Wissen, Systeme / 004 Datenverarbeitung; Informatik
Licence (German):Deutsches Urheberrecht