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Membranes for Micropumps from Macroporous Silicon

F. Müller, A. Birner, J. Schilling, U. Gösele, Ch. Kettner, Peter Hänggi

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    Metadaten
    Author:F. Müller, A. Birner, J. Schilling, U. Gösele, Ch. Kettner, Peter HänggiORCiDGND
    Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/52579
    Parent Title (English):physica status solidi (a)
    Type:Article
    Language:English
    Year of first Publication:2000
    Release Date:2019/05/16
    Volume:182
    Issue:1
    First Page:585
    Last Page:590
    DOI:https://doi.org/10.1002/1521-396X(200011)182:1%3C585::AID-PSSA585%3E3.0.CO;2-4
    Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
    Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
    Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Theoretische Physik I

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