Membranes for Micropumps from Macroporous Silicon
| Author: | F. Müller, A. Birner, J. Schilling, U. Gösele, Ch. Kettner, Peter HänggiORCiDGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/52579 |
| Parent Title (English): | physica status solidi (a) |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2000 |
| Release Date: | 2019/05/16 |
| Volume: | 182 |
| Issue: | 1 |
| First Page: | 585 |
| Last Page: | 590 |
| DOI: | https://doi.org/10.1002/1521-396X(200011)182:1%3C585::AID-PSSA585%3E3.0.CO;2-4 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Theoretische Physik I |
