Membranes for Micropumps from Macroporous Silicon
Author: | F. Müller, A. Birner, J. Schilling, U. Gösele, Ch. Kettner, Peter HänggiORCiDGND |
---|---|
Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/52579 |
Parent Title (English): | physica status solidi (a) |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2000 |
Release Date: | 2019/05/16 |
Volume: | 182 |
Issue: | 1 |
First Page: | 585 |
Last Page: | 590 |
DOI: | https://doi.org/10.1002/1521-396X(200011)182:1%3C585::AID-PSSA585%3E3.0.CO;2-4 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Theoretische Physik I |