Membranes for micropumps from macroporous silicon
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| Author: | F. Müller, A. Birner, J. Schilling, U. Gösele, Ch. Kettner, Peter HänggiORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bvb:384-opus4-525794 |
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/52579 |
| ISSN: | 1862-6300OPAC |
| Parent Title (English): | physica status solidi (a) |
| Publisher: | Wiley |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2000 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2019/05/16 |
| Volume: | 182 |
| Issue: | 1 |
| First Page: | 585 |
| Last Page: | 590 |
| DOI: | https://doi.org/10.1002/1521-396X(200011)182:1%3C585::AID-PSSA585%3E3.0.CO;2-4 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Theoretische Physik I | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
| Licence (German): |  Deutsches Urheberrecht |
