Zeitaufgelöste in-situ-RHEED-Messungen während der Laserablation von YBa 2 Cu 3 O 7-x , SrTiO 3 und (Y 2 O 3 ) ZrO 2 und Charakterisierung der Schichten mit dem Raster-Tunnel-Mikroskop, RBS und elektrischen Methoden
- In dieser Arbeit wurden zum ersten Mal Laserpuls modulierte RHEED-Oszillationen während der Laserablation von YBCO und SrTiO3 gemessen. Durch die sehr hohe momentane Depositionsrate von mehr als 10 hoch 4 nm/s wird ungeordnetes YBCO bzw. SrTi03-Material auf der Substratoberfläche abgeschieden. Das ungeordnet deponierte YBCO-Material kristallisiert zu Inseln die eine Einheitszelle hoch sind. Dieser Vorgang konnte zeitaufgelöst mit dem spiegelnd reflektierten Elektronenstrahl verfolgt werden. Nach jedem Laserpuls relaxiert die Elektronenstrahlintensität exponentiell; dieser Vorgang moduliert die langwelligen RHEED-Oszillationen, die durch das Lage-für-Lage Wachstum entstehen. Außerdem sind die beobachteten RHEED-Oszillationen gedämpft, was sich durch zunehmendes und schließlich dominierendes Stufenwachstum erklären lässt. Außerdem wurde in dieser Arbeit gezeigt, dass in-situ, homogene, sauerstoffdefizitäre YBCO-Schichten gezielt hergestellt werden können. Die c-Achsenlänge ist jedoch,In dieser Arbeit wurden zum ersten Mal Laserpuls modulierte RHEED-Oszillationen während der Laserablation von YBCO und SrTiO3 gemessen. Durch die sehr hohe momentane Depositionsrate von mehr als 10 hoch 4 nm/s wird ungeordnetes YBCO bzw. SrTi03-Material auf der Substratoberfläche abgeschieden. Das ungeordnet deponierte YBCO-Material kristallisiert zu Inseln die eine Einheitszelle hoch sind. Dieser Vorgang konnte zeitaufgelöst mit dem spiegelnd reflektierten Elektronenstrahl verfolgt werden. Nach jedem Laserpuls relaxiert die Elektronenstrahlintensität exponentiell; dieser Vorgang moduliert die langwelligen RHEED-Oszillationen, die durch das Lage-für-Lage Wachstum entstehen. Außerdem sind die beobachteten RHEED-Oszillationen gedämpft, was sich durch zunehmendes und schließlich dominierendes Stufenwachstum erklären lässt. Außerdem wurde in dieser Arbeit gezeigt, dass in-situ, homogene, sauerstoffdefizitäre YBCO-Schichten gezielt hergestellt werden können. Die c-Achsenlänge ist jedoch, verglichen mit Bulkproben mit gleichem Sauerstoffgehalt, verlängert.…
