Herstellung und Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten in der Plasma-Immersions-Ionenimplantation
| Author: | Götz ThorwarthGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/55746 |
| ISBN: | 3-8322-5358-0OPAC |
| Publisher: | Shaker-Verl. |
| Place of publication: | Aachen |
| Advisor: | Bernd StritzkerGND |
| Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Year of first Publication: | 2006 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Granting Institution: | Universität Augsburg, Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Date of final exam: | 2005/12/15 |
| Release Date: | 2019/06/07 |
| GND-Keyword: | Dünne Schicht; Plasma-Immersions-Implantation; Diamantstruktur; Amorpher Zustand; Kohlenstoff |
| Page Number: | III, 114 S. |
| Note: | Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 2005 |
| Series: | Berichte aus der Physik |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
