Elastic properties of sub-stoichiometric nitrogen ion implanted silicon

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Metadaten
Author:M. F. Sarmanova, Helmut KarlGND, Stephan MändlGND, D. Hirsch, S.G. Mayr, Bernd RauschenbachORCiD
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/59131
ISSN:0168-583XOPAC
Parent Title (English):Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Publisher:Elsevier
Place of publication:Amsterdam [u.a.]
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2015
Release Date:2019/07/30
Volume:349
First Page:169
Last Page:172
DOI:https://doi.org/10.1016/j.nimb.2015.02.073
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV