Elastic properties of sub-stoichiometric nitrogen ion implanted silicon
| Author: | M. F. Sarmanova, Helmut KarlORCiDGND, Stephan MändlGND, D. Hirsch, S.G. Mayr, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/59131 |
| ISSN: | 0168-583XOPAC |
| Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam [u.a.] |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2015 |
| Release Date: | 2019/07/30 |
| Volume: | 349 |
| First Page: | 169 |
| Last Page: | 172 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.nimb.2015.02.073 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
