RF power transfer efficiency of inductively coupled low pressure H2 and D2 discharges
| Author: | David RaunerORCiDGND, Stefan BriefiORCiD, Ursel FantzORCiDGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/60461 |
| ISSN: | 1361-6595OPAC |
| Parent Title (English): | Plasma Sources Science and Technology |
| Publisher: | IOP Publishing |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2017 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2019/10/15 |
| Volume: | 26 |
| Issue: | 9 |
| First Page: | 095004 |
| DOI: | https://doi.org/10.1088/1361-6595/aa8685 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |
