RF power transfer efficiency of inductively coupled low pressure H2 and D2 discharges

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Metadaten
Author:David RaunerORCiD, Stefan BriefiORCiD, Ursel FantzORCiDGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/60461
URL:http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/aa8685/pdf
ISSN:1361-6595OPAC
Parent Title (English):Plasma Sources Science and Technology
Publisher:IOP Publishing
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2017
Release Date:2019/10/15
Volume:26
Issue:9
First Page:095004
DOI:https://doi.org/10.1088/1361-6595/aa8685
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP)