Investigation of the RF efficiency of inductively coupled hydrogen plasmas at 1 MHz

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Metadaten
Author:David RaunerORCiD, S. Mattei, Stefan BriefiORCiD, Ursel FantzORCiDGND, A. Hatayama, J. Lettry, K. Nishida, M. Q. Tran
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/60479
Parent Title (English):AIP Conference Proceedings
Publisher:AIP
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2017
Release Date:2019/10/15
Volume:1869
First Page:030035
DOI:https://doi.org/10.1063/1.4995755
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP)