Investigation of the RF efficiency of inductively coupled hydrogen plasmas at 1 MHz
| Author: | David RaunerORCiDGND, S. Mattei, Stefan BriefiORCiD, Ursel FantzORCiDGND, A. Hatayama, J. Lettry, K. Nishida, M. Q. Tran |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/60479 |
| Parent Title (English): | AIP Conference Proceedings |
| Publisher: | AIP |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2017 |
| Release Date: | 2019/10/15 |
| Volume: | 1869 |
| First Page: | 030035 |
| DOI: | https://doi.org/10.1063/1.4995755 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |
