A Langmuir probe system incorporating the Boyd–Twiddy method for EEDF measurement applied to an inductively coupled plasma source

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Metadaten
Author:B. Crowley, S. Dietrich
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/62523
ISSN:0963-0252OPAC
ISSN:1361-6595OPAC
Parent Title (English):Plasma Sources Science and Technology
Publisher:IOP Publishing
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2008
Release Date:2020/03/05
Tag:Condensed Matter Physics
Volume:18
Issue:1
First Page:014010
DOI:https://doi.org/10.1088/0963-0252/18/1/014010
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP)