A Langmuir probe system incorporating the Boyd–Twiddy method for EEDF measurement applied to an inductively coupled plasma source
Author: | B. Crowley, S. Dietrich |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/62523 |
ISSN: | 0963-0252OPAC |
ISSN: | 1361-6595OPAC |
Parent Title (English): | Plasma Sources Science and Technology |
Publisher: | IOP Publishing |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2008 |
Release Date: | 2020/03/05 |
Tag: | Condensed Matter Physics |
Volume: | 18 |
Issue: | 1 |
First Page: | 014010 |
DOI: | https://doi.org/10.1088/0963-0252/18/1/014010 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |