Broadband acoustical tuning of nano-electromechanical sensors

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Metadaten
Author:F. W. Beil, Achim WixforthORCiDGND, R. H. Blick
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/63330
ISBN:0780374541OPAC
Parent Title (English):Proceedings of IEEE Sensors 2002, Orlando, FL, USA, 12-14 June 2002
Publisher:IEEE
Place of publication:Piscataway, NJ
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:2003
Release Date:2020/05/09
First Page:1285
Last Page:1289
DOI:https://doi.org/10.1109/icsens.2002.1037302
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik I