Plasma deposition of piezoelectric ZnO layers by rf sputtering, SolGel and pulsed laser deposition

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Metadaten
Author:Kerstin Wätje, Jens Ebbecke, Götz ThorwarthGND, Mark van de Ven, Achim WixforthORCiDGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/63384
ISSN:1610-1634OPAC
ISSN:1610-1642OPAC
Parent Title (English):physica status solidi (c)
Publisher:Wiley
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2008
Release Date:2020/05/09
Tag:Condensed Matter Physics
Volume:5
Issue:4
First Page:943
Last Page:946
DOI:https://doi.org/10.1002/pssc.200778334
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik I