Plasma deposition of piezoelectric ZnO layers by rf sputtering, SolGel and pulsed laser deposition
Author: | Kerstin Wätje, Jens Ebbecke, Götz ThorwarthGND, Mark van de Ven, Achim WixforthORCiDGND |
---|---|
URN: | urn:nbn:de:bvb:384-opus4-633840 |
Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/63384 |
ISSN: | 1610-1634OPAC |
ISSN: | 1610-1642OPAC |
Parent Title (English): | physica status solidi (c) |
Publisher: | Wiley |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2008 |
Publishing Institution: | Universität Augsburg |
Release Date: | 2020/05/09 |
Tag: | Condensed Matter Physics |
Volume: | 5 |
Issue: | 4 |
First Page: | 943 |
Last Page: | 946 |
DOI: | https://doi.org/10.1002/pssc.200778334 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik I | |
Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
Licence (German): | ![]() |