Liftoff of single crystal diamond by epitaxial lateral overgrowth using SiO2 masks

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Metadaten
Author:Matthias SchreckORCiDGND, Michael Mayr, Michael Weinl, Martin FischerGND, Stefan GsellGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/65035
ISSN:0925-9635OPAC
Parent Title (English):Diamond and Related Materials
Publisher:Elsevier
Place of publication:Amsterdam [u.a.]
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2019
Release Date:2019/11/15
Tag:Mechanical Engineering; Electrical and Electronic Engineering; Materials Chemistry; General Physics and Astronomy; Electronic, Optical and Magnetic Materials; General Chemistry
Volume:101
First Page:107606
DOI:https://doi.org/10.1016/j.diamond.2019.107606
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV