Metadaten| Author: | Georgeta Salvan, Peter Robaschik, Michael Fronk, Steve Müller, Thomas Waechtler, Stefan E. Schulz, Robert Mothes, Heinrich Lang, Christian Schubert, Senoy Thomas, Manfred AlbrechtORCiDGND, Dietrich R.T. Zahn |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/65556 |
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| ISSN: | 0167-9317OPAC |
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| Parent Title (English): | Microelectronic Engineering |
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| Publisher: | Elsevier |
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| Place of publication: | Amsterdam [u.a.] |
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| Type: | Article |
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| Language: | English |
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| Year of first Publication: | 2013 |
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| Release Date: | 2019/11/20 |
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| Volume: | 107 |
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| First Page: | 130 |
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| Last Page: | 133 |
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| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.mee.2012.10.023 |
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| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
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| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik |
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| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
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