How to tame the aggressiveness of liquid silicon in the LSI process

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Metadaten
Author:Bernd Mainzer, Klemens Kelm, Philipp Watermeyer, Martin Frieß, Dietmar KochORCiDGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/65850
ISSN:1662-9795OPAC
Parent Title (English):Key Engineering Materials
Publisher:Trans Tech Publications
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2017
Release Date:2019/12/06
Volume:742
First Page:238
Last Page:245
DOI:https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.742.238
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management / Lehrstuhl für Materials Engineering