Direct growth of nanostructures by deposition through an Si3N4 shadow mask

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Metadaten
Author:J. Köhler, Manfred AlbrechtORCiDGND, C.R. Musil, E. Bucher
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/66408
ISSN:1386-9477OPAC
Parent Title (English):Physica E: Low-dimensional Systems and Nanostructures
Publisher:Elsevier
Place of publication:Amsterdam [u.a.]
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:1999
Release Date:2019/12/09
Tag:Atomic and Molecular Physics, and Optics; Electronic, Optical and Magnetic Materials; Condensed Matter Physics
Volume:4
Issue:3
First Page:196
Last Page:200
DOI:https://doi.org/10.1016/s1386-9477(99)00007-7
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV