Application of a Langmuir probe AC technique for reliable access to the low energy range of electron energy distribution functions in low pressure plasmas
Author: | A. HeilerORCiD, Roland FriedlORCiDGND, Ursel FantzORCiDGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/76532 |
ISSN: | 0021-8979OPAC |
ISSN: | 1089-7550OPAC |
Parent Title (English): | Journal of Applied Physics |
Publisher: | AIP Publishing |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2020 |
Release Date: | 2020/05/31 |
Tag: | General Physics and Astronomy |
Volume: | 127 |
Issue: | 11 |
First Page: | 113302 |
DOI: | https://doi.org/10.1063/1.5139601 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP) |