Recovery of the Si–SiO2 interface studied by self-diffusion after high fluence ion implantation of 28Si
Author: | Helmut KarlORCiDGND, Ch. Delpero, P. Huber, Bernd StritzkerGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/78610 |
ISSN: | 0168-583XOPAC |
Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
Publisher: | Elsevier |
Place of publication: | Amsterdam [u.a.] |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2006 |
Release Date: | 2020/08/04 |
Tag: | Nuclear and High Energy Physics; Instrumentation |
Volume: | 242 |
Issue: | 1-2 |
First Page: | 683 |
Last Page: | 685 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/j.nimb.2005.08.088 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |