Handler zum Transportieren von flachen in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommenden Substraten

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Metadaten
Author:J. Höppner, Johannes SchilpGND, J. Zimmermann
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/83143
URL:https://patents.google.com/patent/DE10039482A1/ko
Title Additional (English):Handler for transporting flat substrates used in the semiconductor industry
Publisher:Deutsches Patent- und Markenamt
Place of publication:München
Type:Other
Language:German
Year of first Publication:2002
Release Date:2021/02/03
Institutes:Fakultät für Angewandte Informatik
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Ingenieurinformatik mit Schwerpunkt Produktionsinformatik
Patent Number:DE 100 39 482
Country of Patent Application:Deutschland
Patent Application Year:2002
Patent Application:21.02.2002
Patent Grant Date:2016/03/24
Patent Number:WO/2002/012,097
Country of Patent Application:Deutschland
Patent Application Year:2002
Patent Application:14.02.2002