Handler for the transporting of flat substrates for application in the semiconductor industry
| Author: | J. Höppner, J. Zimmermann, Johannes SchilpGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/83144 |
| URL: | https://patents.google.com/patent/US6609874 |
| Publisher: | U.S. Patent and Trademark Office |
| Type: | Other |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2002 |
| Release Date: | 2021/02/03 |
| Institutes: | Fakultät für Angewandte Informatik |
| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik | |
| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Ingenieurinformatik mit Schwerpunkt Produktionsinformatik | |
| Patent Number: | US 6,609,874 B2 |
| Country of Patent Application: | USA |
| Patent Application Year: | 2002 |
| Patent Application: | 18.04.2002 |
| Patent Grant Date: | 2003/08/26 |
