RF power transfer efficiency and plasma parameters of low pressure high power ICPs

Metadaten
Author:	Dominikus Zielke ORCiD, Stefan Briefi ORCiD, Ursel Fantz ORCiD GND
URN:	urn:nbn:de:bvb:384-opus4-840563
Frontdoor URL	https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/84056
ISSN:	0022-3727OPAC
ISSN:	1361-6463OPAC
Parent Title (English):	Journal of Physics D: Applied Physics
Publisher:	IOP Publishing
Type:	Article
Language:	English
Year of first Publication:	2021
Publishing Institution:	Universität Augsburg
Release Date:	2021/03/04
Tag:	Acoustics and Ultrasonics; Electronic, Optical and Magnetic Materials; Surfaces, Coatings and Films; Condensed Matter Physics
Volume:	54
Issue:	15
First Page:	155202
DOI:	https://doi.org/10.1088/1361-6463/abd8ee
Institutes:	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP)
	Nachhaltigkeitsziele
	Nachhaltigkeitsziele / Ziel 7 - Bezahlbare und saubere Energie
Dewey Decimal Classification:	5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik
Licence (German):	CC-BY 4.0: Creative Commons: Namensnennung (mit Print on Demand)

Open Access