Piezoelectric ZnO films deposited by RF magnetron sputtering for microfluidic applications

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Metadaten
Author:K. Watje, Hubert J. KrennerORCiDGND, Achim WixforthORCiDGND, W. Assmann
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/88286
URL:https://www-old.mll-muenchen.de/bl_rep/jb2008/p079.pdf
Parent Title (German):MLL Jahresbericht 2008 Annual Report
Publisher:Maier-Leibnitz-Laboratory for Nuclear-, Particle- and Accelerator-Physics of the Ludwig-Maximilians-Universität München and the Technischen Universität München (MLL)
Place of publication:München
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:2009
Release Date:2021/09/21
First Page:79
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik I