Piezoelectric ZnO films deposited by RF magnetron sputtering for microfluidic applications

Metadaten
Author:	K. Watje, Hubert J. Krenner ORCiD GND, Achim Wixforth ORCiD GND, W. Assmann
URN:	urn:nbn:de:bvb:384-opus4-882866
Frontdoor URL	https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/88286
URL:	https://www-old.mll-muenchen.de/bl_rep/jb2008/p079.pdf
Parent Title (German):	MLL Jahresbericht 2008 Annual Report
Publisher:	Maier-Leibnitz-Laboratory for Nuclear-, Particle- and Accelerator-Physics of the Ludwig-Maximilians-Universität München and the Technischen Universität München (MLL)
Place of publication:	München
Type:	Part of a Book
Language:	English
Year of first Publication:	2009
Publishing Institution:	Universität Augsburg
Release Date:	2021/09/21
First Page:	79
Institutes:	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
	Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik I
Dewey Decimal Classification:	5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik
Licence (German):	Deutsches Urheberrecht

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