Composition analysis of oxidized buried SiC layers in silicon from EFTEM images
| Author: | Wilfried AttenbergerGND, Jörg K. N. Lindner, Matthias Schmid, Jürgen W. GerlachGND, Bernd StritzkerGND |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/121427 |
| ISSN: | 1369-8001OPAC |
| Parent Title (English): | Materials Science in Semiconductor Processing |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2001 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2025/04/11 |
| Volume: | 4 |
| Issue: | 1-3 |
| First Page: | 187 |
| Last Page: | 190 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/s1369-8001(00)00134-7 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
