Quantitative analysis of thin film compositions using EFTEM combined with RBS and ERDA
| Author: | Jörg K. N. Lindner, Maik HäberlenGND, Florian Schwarz, Götz ThorwarthGND, C. Hammerl, W. Assmann, Bernd StritzkerGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/123742 |
| ISSN: | 0167-9317OPAC |
| Parent Title (English): | Microelectronic Engineering |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2007 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2025/07/22 |
| Volume: | 84 |
| Issue: | 3 |
| First Page: | 474 |
| Last Page: | 478 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.mee.2006.10.089 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
