Einfluss der Prozessparameter auf die Depositionsbedingungen und die physikalischen Eigenschaften reaktiv abgeschiedener TiN-Schichten bei der Innenbeschichtung von Rohren mittels Ionenputtern
| Author: | Thomas Kraus |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31884 |
| ISBN: | 3898207064OPAC |
| Publisher: | Mensch-&-Buch-Verl. |
| Place of publication: | Berlin |
| Advisor: | Bernd StritzkerGND |
| Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Year of first Publication: | 2004 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Granting Institution: | Universität Augsburg, Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Date of final exam: | 2003/07/24 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Page Number: | VIII, 133 |
| Note: | Zugl.: Augsburg, Univ., Diss, 2003 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
