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SiC precipitate formation during high dose carbon implantation into silicon

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Metadaten
Author:Jörg K. N. Lindner, Kerstin VolzGND, Bernd StritzkerGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/33559
ISBN:9781558993426OPAC
Parent Title (English):Materials modification and synthesis by ion beam processing symposium held December 2-5, 1996, Boston, MA, USA
Publisher:Materials Research Society
Place of publication:Pittsburgh, PA
Editor:D. E. Alexander, N. W. Cheung, B. Park, W. Skorupa
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:1997
Publishing Institution:Universität Augsburg
Release Date:2017/07/21
First Page:289
Last Page:294
Series:Materials Research Society Symposia Proceedings ; 438
DOI:https://doi.org/10.1557/PROC-438-289
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV