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An apparatus for magnetron sputter coating and plasma immersion ion implantation

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Metadaten
Author:Josef Hartmann, Wolfgang EnsingerORCiDGND, J. Klein, P. Usedom, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23580
ISBN:9781558992993OPAC
Parent Title (English):Ion-solid interactions for materials modification and processing: Symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, MA, USA
Publisher:Materials Research Society
Place of publication:Pittsburgh, PA
Editor:Y.-T. Cheng, L. R. Harriott, D. Ila, D. B. Poker, T. W. Sigmon
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:1996
Publishing Institution:Universität Augsburg
Release Date:2017/07/21
First Page:512
Last Page:525
Series:Materials Research Society Symposia Proceedings ; 396
DOI:https://doi.org/10.1557/PROC-396-521
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV