How to tame the aggressiveness of liquid silicon in the LSI process
| Author: | Bernd Mainzer, Klemens Kelm, Philipp Watermeyer, Martin Frieß, Dietmar KochORCiDGND |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/65850 |
| ISSN: | 1662-9795OPAC |
| Parent Title (English): | Key Engineering Materials |
| Publisher: | Trans Tech Publications |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2017 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2019/12/06 |
| Volume: | 742 |
| First Page: | 238 |
| Last Page: | 245 |
| DOI: | https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.742.238 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management / Lehrstuhl für Materials Engineering |
