Trench homogeneity in plasma immersion ion implantation
| Author: | P. Huber, G. Keller, J. W. Gerlach, S. Mändl, W. Assmann, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/123264 |
| ISSN: | 0168-583XOPAC |
| Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2000 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2025/07/17 |
| Volume: | 161-163 |
| First Page: | 1085 |
| Last Page: | 1089 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/s0168-583x(99)00825-3 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
