Plasma deposition of piezoelectric ZnO layers by rf sputtering, SolGel and pulsed laser deposition
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| Author: | Kerstin Wätje, Jens Ebbecke, Götz ThorwarthGND, Mark van de Ven, Achim WixforthORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bvb:384-opus4-633840 |
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/63384 |
| ISSN: | 1610-1634OPAC |
| ISSN: | 1610-1642OPAC |
| Parent Title (English): | physica status solidi (c) |
| Publisher: | Wiley |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2008 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2020/05/09 |
| Tag: | Condensed Matter Physics |
| Volume: | 5 |
| Issue: | 4 |
| First Page: | 943 |
| Last Page: | 946 |
| DOI: | https://doi.org/10.1002/pssc.200778334 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik I | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
| Licence (German): |  Deutsches Urheberrecht |
