Metadaten| Author: | G. Roeder, A. Mattes, M. Pfeffer, M. Schellenberger, L. Pfitzner, Alexander KnappORCiDGND, H. Muhlberger, A. Kyek, B. Lenz, M. Frisch, J. Bichlmeier, G. Leditzky, E. Lind, S. Zoia, G. Fazio |
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| URN: | urn:nbn:de:bvb:384-opus4-444435 |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/44443 |
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| ISBN: | 9781467303514OPAC |
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| ISBN: | 9781467303507OPAC |
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| Parent Title (English): | 2012 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 15-17 May 2012, Saratoga Springs, NY, USA |
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| Publisher: | IEEE |
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| Place of publication: | Los Alamitos, CA |
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| Editor: | Jennifer Braggin, Larry Pulvirent, Scott Lantz, Holly Magoon |
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| Type: | Part of a Book |
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| Language: | English |
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| Year of first Publication: | 2012 |
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| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
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| Release Date: | 2018/12/12 |
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| First Page: | 288 |
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| Last Page: | 293 |
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| DOI: | https://doi.org/10.1109/asmc.2012.6212913 |
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| Institutes: | Fakultät für Angewandte Informatik |
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| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik |
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| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Software & Systems Engineering |
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| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Softwaretechnik |
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| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Softwaretechnik / Professur für die Grundlagen des Software & Systems Engineering |
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| Nachhaltigkeitsziele |
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| Nachhaltigkeitsziele / Ziel 9 - Industrie, Innovation und Infrastruktur |
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| Dewey Decimal Classification: | 0 Informatik, Informationswissenschaft, allgemeine Werke / 00 Informatik, Wissen, Systeme / 004 Datenverarbeitung; Informatik |
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| Licence (German): |  Deutsches Urheberrecht |
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