High quality single atomic layer deposition of hexagonal boron nitride on single crystalline Rh(111) four-inch wafers
| Author: | A. Hemmi, C. Bernard, H. Cun, S. Roth, M. Klöckner, T. Kälin, M. Weinl, Stefan GsellGND, Matthias SchreckORCiDGND, J. Osterwalder, T. Greber |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/38774 |
| ISSN: | 1089-7623OPAC |
| Parent Title (English): | Review of Scientific Instruments |
| Publisher: | American Institute of Physics |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2018/07/13 |
| Year of first Publication: | 2014 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2018/07/24 |
| Volume: | 85 |
| Issue: | 3 |
| First Page: | 035101 |
| DOI: | https://doi.org/10.1063/1.4866648 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
