Metadaten| Author: | S. Anders, S. Sun, C.B. Murray, C.T. Rettner, M.E. Best, T. Thomson, Manfred AlbrechtORCiDGND, J.-U. Thiele, E.E. Fullerton, B.D. Terris |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/66399 |
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| ISSN: | 0167-9317OPAC |
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| Parent Title (English): | Microelectronic Engineering |
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| Publisher: | Elsevier |
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| Place of publication: | Amsterdam [u.a.] |
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| Type: | Article |
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| Language: | English |
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| Year of first Publication: | 2002 |
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| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
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| Release Date: | 2019/12/09 |
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| Tag: | Atomic and Molecular Physics, and Optics; Condensed Matter Physics; Electrical and Electronic Engineering; Electronic, Optical and Magnetic Materials; Surfaces, Coatings and Films |
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| Volume: | 61-62 |
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| First Page: | 569 |
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| Last Page: | 575 |
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| DOI: | https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00522-1 |
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| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
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| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik |
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| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
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