Incorporation of nitrogen into carbon films produced by PECVD under bias voltage
| Author: | J. Hartmann, Matthias SchreckORCiDGND, T. Baur, H. Huber, W. Assmann, H. Schuler, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/25935 |
| ISSN: | 0925-9635OPAC |
| Parent Title (English): | Diamond and Related Materials |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam [u.a.] |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 7 |
| Issue: | 6 |
| First Page: | 899 |
| Last Page: | 902 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0925-9635(97)00328-2 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
